何謂 GEM?

GENERIC MODEL FOR COMMUNICATIONS AND CONTROL OF MANUFACTURING EQUIPMENT.

GEM 標準定義了一組通用的設備行為和通訊功能,提供支援半導體裝置製造商的製造自動化程序的功能和靈活性。

GEM Scope.

 

包含哪些部分:

State Model 狀態模型

Communications 設備與主機是否存在通訊與相關的行為
Control 主機和設備之間的合作程度
Processing 記錄設備在執行其預期功能時的行為

 

Equipment Capabilities 設備能力

Establish Communications 建立通訊
Event Notification 事件通知
Dynamic Event Report Configuration 動態事件報告配置
Variable Data Collection 可變數據收集
Trace Data Collection 追蹤數據收集
Limits Monitoring 限制監控
Status Data Collection 狀態資料收集
On-line Identification 線上識別
Alarm Management 警報管理
Remote Control 遠端控制
Equipment Constants 設備常數
Process Program Management 流程計劃管理
Material Movement 物料移動
Equipment Terminal Services 設備終端服務
Error Messages 錯誤訊息
Clock 時間
Spooling 暫時離線(保存訊息)
Control 控制

     

設備具備那些功能?

可透過 GEM Compliance Statement,來確認。

 

 

 

 

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