GENERIC MODEL FOR COMMUNICATIONS AND CONTROL OF MANUFACTURING EQUIPMENT.
GEM 標準定義了一組通用的設備行為和通訊功能,提供支援半導體裝置製造商的製造自動化程序的功能和靈活性。
Communications | 設備與主機是否存在通訊與相關的行為 |
Control | 主機和設備之間的合作程度 |
Processing | 記錄設備在執行其預期功能時的行為 |
Establish Communications | 建立通訊 |
Event Notification | 事件通知 |
Dynamic Event Report Configuration | 動態事件報告配置 |
Variable Data Collection | 可變數據收集 |
Trace Data Collection | 追蹤數據收集 |
Limits Monitoring | 限制監控 |
Status Data Collection | 狀態資料收集 |
On-line Identification | 線上識別 |
Alarm Management | 警報管理 |
Remote Control | 遠端控制 |
Equipment Constants | 設備常數 |
Process Program Management | 流程計劃管理 |
Material Movement | 物料移動 |
Equipment Terminal Services | 設備終端服務 |
Error Messages | 錯誤訊息 |
Clock | 時間 |
Spooling | 暫時離線(保存訊息) |
Control | 控制 |